详细内容
热压法:把铟粉末在高温和高压下压制成型,能够提高靶材的致密度和机械强度,同时有助于减少气孔和其他缺陷。
冷等静压法:利用液压介质在室温下对铟粉末施加均匀压力使其成型,可制造出高密度和均匀性的靶材,但需要后续的烧结处理来提高其机械性能。
显示领域:广泛应用于液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器(OLED)等显示器件的制造,用于形成透明导电薄膜,提高显示器的性能和质量。
化合物半导体器件
场景:用于制造铟镓砷(InGaAs)、铟磷(InP)等化合物半导体芯片,广泛应用于 5G 通信基站、雷达、光纤通信等高频电子设备。
作用:提升器件的高频性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
靶材回收与再利用
回收价值:报废铟靶(含溅射过程中产生的碎屑、废膜)可通过化学溶解(如盐酸溶解)、电解精炼等工艺回收铟金属(回收率可达 95% 以上),降低生产成本。
环保要求:回收过程中产生的废水需处理至重金属排放标准(如铟离子浓度≤0.1 mg/L),避免环境污染。